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クロスセクションポリッシャー
<日本電子社製 SM-09010>

本装置は、ドライ排気されたチャンバ内で、イオンビームで試料加工を行います。試料移動機構は、イオンビームに対する平行度と照射位置調整ができるため、容易に試料位置決めが可能。遮蔽材に沿いイオン照射させ断面を形成させるSEM/EPMAなどの試料作製装置です。

ハイブリッド3Dマイクロスコープ
<レーザーテック社製 OPTELICS HYBRID+3L>

白色・レーザー2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定の6つの機能を搭載。
複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が、1台で可能になっている。

デジタルマイクロスコープ
<キーエンス製 VHX-8000+VHX-7100>

4K CMOS、新開発光学系により深い被写界深度と高分解能を両立。
明視野、暗視野、偏光、微分干渉など多彩な観察方法をカバーし、あらゆる対象物に自動で対応。XYステージを移動時対象物の高さが変わっても、対象物の凹凸に合わせてレンズが自動で上下に移動し、リアルタイムでピントが合い続ける。20~6,000倍まで観察可能。

サーマル電界放出型走査電子顕微鏡
<日本電子社製 JSM-7100F>

SEM:Scanning Electron Microscope
試料表面の凹凸・形態の観察や表面EDS分析(局所組成、元素分布等)が可能。FE-SEMでは、超高分解能観察が可能な為、微小領域に含まれる元素の分析にも対応が出来る。
日々のめっき表面の観察や、EDSによるめっき成分比率の確認を行っている。

フーリエ変換赤外分光光度計
<島津製作所社製 IRAffinity-1S(赤外顕微鏡システムAIM-8800付)>

フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)は、高分子材料や有機物の分析に適しており、どのような物質が含まれているかを簡単に測定できるため、製薬市場や化学工業市場を中心に研究開発や品質検査用途などで幅広く使われている。

真空ガス置換炉
<ADVANTEC社製 FUA232DA>

真空、不活性ガス雰囲気での熱処理ができます。真空チェンバー内にヒーターを設置しているため、比較的高速に 昇温できます。油回転真空ポンプ、ピラニ真空計、温度記録計を標準装備して います。
使用温度範囲 400℃~1,150℃ 常用最高温度1,100℃
到達真空度 13.3Pa(真空基準)
雰囲気 大気、真空、不活性ガス

小型環境試験器
<エスペック社製 SH-222>

ベンチトップサイズの恒温恒湿器、小型環境試験器は、コンパクトながら、本格的な環境試験性能を有します。-20~+150℃ / 30~95%rhまでの幅広い範囲で環境評価試験が可能。

万能ボンドテスター(プル強度)
<Nordson製STELLAR 4000>

各種半導体部品・電子部品の組立工程や、基板への実装工程におけるあらゆる接合強度試験が可能。

引張圧縮試験機
<今田製作所製 SV-55C型>

金属・ゴム・プラスチック・セラミックなどの各種素材をはじめ
各分野の工業製品の強度評価ができる20Nまでの荷重測定用試験機

はんだ付け性評価装置
<レスカ社製 SAT-5100>

はんだのぬれを電子部品に働く微小なぬれ力の変化から測定することで、ぬれの時間軸変化(ゼロクロスタイム)を評価できるはんだぬれ性試験機。
はんだ・フラックス・部品のめっき・ソルダーペースト・基板電極など個々のぬれ性を定量的に評価するうえで欠かせない試験機です。

ワイヤーボンディング機
<TPT製HB05>

HB05はフルマニュアルタイプの卓上型ウェッジ・ボール兼用ワイヤボンダで、簡単な配線作業に適しています。
マニピュレーター(X&Y軸)とZ軸レバーを連動させて行います。
液晶ディスプレイを採用し、スライド式クランプとワイヤフィード機能により、ワイヤ処理作業が簡単に行えます。

マルチタイプICP発光分光分析装置
<島津製作所社製 ICPE-9820>

約7,000度に熱したアルゴンガスによって生成される誘導結合プラズマ(ICP)中にサンプルを噴霧することで含まれている原子を励起し,この光の輝線スペクトルを検出することで,元素の定性・定量を行なうことができる装置。測定できる濃度範囲が広く,71元素をμg/L(ppb)レベルで高感度に検出し同時に分析できる。

デンシトメーター(反射濃度計)
<日本電色工業社製 ND-11>

軽量・コンパクトで持ち運びが可能なハンディ型デンシトメーター(反射濃度計)。1台で視感反射濃度・イエロー濃度・反射率などが測定できる。また、サンプルの大きさに合わせてφ1mm、1.7mm、φ3mmの測定径が選択可能。電子部品・リードフレーム・メッキ等の光沢評価に最適な測定器。

絶縁抵抗計
<日置電機社製 SM-8220>

高電圧、高抵抗測定までの広範なニーズに対応。
電子部品や材料、さらには完成した電気製品の絶縁抵抗値を測定可能。

原子吸光装置
<島津製作所社製 AA-7000>

試料を炎(フレーム)中で燃焼すると元素が熱で原子化され、その原子蒸気は特定の波長の光を吸収します。この吸光強度を測定することにより試料の定量を行える。
測定モード  フレーム原子吸光法(空気-アセチレン)
測定波長範囲 185nm~ 900nm

社内分析

各処理薬液の滴定分析・機器測定含め、200検体以上の分析に対応可能。

高性能蛍光X線膜厚計
<日立ハイテクサイエンス社製 FT-150>

ポリキャピラリを用いた照射径30µmの高輝度X線ビームにより、リードフレームや微小コネクタ、フレキシブル基板等の微小極薄膜の高精度膜厚測定が可能。
X線を物質に照射し発生する固有X線(蛍光X線)を利用しめっき厚を測定する。
一般の電磁波に比べX線は容易に物質を透過し、その程度は物質に含まれる原子の原子番号が小さくなるほど強くなる。

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