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高性能蛍光X線膜厚計
＜日立ハイテクサイエンス社製 FT-150＞
ポリキャピラリを用いた照射径30µmの高輝度X線ビームにより、リードフレームや微小コネクタ、フレキシブル基板等の微小極薄膜の高精度膜厚測定が可能。
X線を物質に照射し発生する固有Ｘ線（蛍光X線）を利用しめっき厚を測定する。
一般の電磁波に比べX線は容易に物質を透過し、その程度は物質に含まれる原子の原子番号が小さくなるほど強くなる。
