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ハイブリッド3Dマイクロスコープ
<レーザーテック社製 OPTELICS HYBRID+3L>
白色・レーザー2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定の6つの機能を搭載。
複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が、1台で可能になっている。
白色・レーザー2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定の6つの機能を搭載。
複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が、1台で可能になっている。
